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AWM 42150VH :: Durchflusssensor, ± 25 sccm


AWM 42150VH

  • Produktbeschreibung
  • Technische Daten
  • Allgemeines
    • Typ
    • Luftmassenmesser
    • Temperaturbereich
    • -40 ... +125 °C
  • Besonderheiten
    • Medienverträglichkeit
    • nur Wasserstoffgas
    • Signalaufbereitung
    • Nicht Verstärkt
    • Strömungsbereich
    • ± 25 sccm
    • Strömungsratenänderung
    • 5,0 SLPM/s
    • Schock
    • max. 100 g
    • Messtyp
    • Luftmassenmesser
    • Nullpunktverschiebung
    • ±1 mV DC %
  • Ausführung
    • Druck
    • 150 psi bar
    • Ansprechzeit
    • 1 ms
  • Anschlüsse / Schnittstellen
    • Anschluss
    • gerader Anschluss
  • Elektrische Werte
    • Leistungsaufnahme (Betrieb)
    • 60 m W
    • Spannung
    • 8 ... 15 V
Der Mikrobrücken-Luftmassenmesser arbeitet nach dem Prinzip der Wärmeübertragung. Die Luftmasse wird über die Oberfläche der Messelemente geleitet. Die Ausgangsspannung variiert proportional zur Luftmasse oder zum Strom anderer Gase durch die Einlass- und Auslass-Ports des Pakets. Das speziell konstruierte Gehäuse leitet und führt den Luftstrom über das Mikrostruktur-Sensorelement. Die mechanische Konstruktion des Pakets ermöglicht die einfache Montage an den Leiterplatten.
Der Mikrobrücken-Luftmassenmesser verfügt über einen einzigartigen Siliziumchip mit der hochentwickelten Mikrostrukturtechnologie. Er verfügt über eine thermisch isolierte Dünnschicht-Brückenstruktur, die aus einem Heizer und Temperaturmesselementen besteht. Die Brückenstruktur bietet eine sensible und schnelle Ansprache auf Luft- und andere Gasströme über den Chip. Duale Messelemente, die sich an beiden Seiten eines zentralen Heizelements befinden, zeigen die Strömungsrichtung sowie die Strömungsrate an. Per Laser abgeglichene Dick- und Dünnschicht-Widerstände ermöglichen eine konsistente Austauschbarkeit von einem Gerät zum nächsten.
Das Mikrobrücken-Luftmassenmessgerät verfügt über temperatursensible Widerstände, die in einer Dünnschicht aus Siliziumnitrid gelagert sind. Sie werden in Form von zwei Brücken über einem geätzten Hohlraum im Silizium gelagert. Der Chip befindet sich in einem präzise bemaßten Luftstromkanal, der eine wiederholbare Luftstromansprache ermöglicht. Eine hocheffiziente thermische Isolierung für die Heiz- und Sensorwiderstände wird erreicht, indem der Hohlraum unter die Luftstrommessbrücken geätzt wird. Die geringe Größe und die thermische Isolierung des Mikrobrücken-Luftmassenmessers ermöglichen die äußerst schnelle Reaktion und die hohe Empfindlichkeit gegenüber Strömen.
Zwei Wheatstone-Brücken regeln die Luftstrommessung - eine bietet die Heizregelung mit geschlossenem Regelkreis, die andere enthält doppelte Sensorelemente. Der Heizregelkreis minimiert die Schaltvorgänge aufgrund von Änderungen der Umgebungstemperatur, indem ein Ausgang proportional zum Massenstrom zur Verfügung steht. Der Schaltkreis hält die Heizungstemperatur konstant (160 °C) über der Temperatur der Umgebungsluft, was durch einen Wärmewiderstand am Chip erfasst wird. Die ratiometrische Ausgangsspannung des Geräts entspricht der Differenzialspannung im Wheatstone-Brückenkreis.
Mikrobrücken-Luftmassenmesser der AWM-Serie sind nicht darauf ausgelegt, Flüssigkeitsströme zu erfassen, und wird durch ein Strömen von Flüssigkeit durch den Sensor beschädigt.

• Präzise Silizium-Mikrobearbeitung
• Empfindlich bei geringen Luftströmen - 0,1 sccm bis 20 SLPM
• Anpassbar zur Verwendung mit größeren Luftströmen
• Kurze Ansprechzeit
• Analogausgang
• Niedriger Stromverbrauch
• Wiederholbare Ansprache
• Lasergetrimmte Austauschbarkeit
• Genaue, kosteneffiziente Luftstromerkennung
• Inline-Leiterplatten-Anschlüsse
• Standardmäßige Befestigungsmittelpunkte 2,54 mm (0,100 Zoll)
• Genaue Messung des Niederdrucks 0,001 Zoll bis 4,0 Zoll H2O (0,003 bis 10 mbar)

Technische Produktdaten:
Signalaufbereitung: Nicht verstärkt (mV)
Strömungs-/Druckbereich: ±25,0 sccm
Ausgangsspannung am Abgleichspunkt: 8,5 mVDC ±1,5 mVDC bei 25 sccm
Anschlussart: Sammelrohr
Nullpunktverschiebung bei Temperaturänderungen: ±0,20 mV DC
Ausgangsverschiebung bei Temperaturänderungen: ±2,5 % des Messwerts
Strömungsratenänderung: 5,0 SLPM/s
Wiederholbarkeit: ±0,35 % des Messwerts
Nullpunktverschiebung: 0,0 mV DC ±1,0 mV DC
Ansprechzeit: 1 ms typ., 3 ms max.
Versorgungsspannung: 8,0 V DC min., 10,0 V DC typ., 15,0 V DC max.
Systemdruck: 150 psi
Leistungsaufnahme: 60 mW max.
Betriebstemperatur: -40 ... 125 °C
Medienverträglichkeit: Wasserstoffgas
Schock: max. 100 g (5 Stoßeinwirkungen in 6 Achsrichtungen)



Hersteller : HONEYWELL
Artikelnummer des Herstellers : AWM42150VH
Verpackungsgewicht : 0.023 kg
RoHS : konform
Technische Daten
  • Allgemeines
    • Typ
    • Luftmassenmesser
    • Temperaturbereich
    • -40 ... +125 °C
  • Besonderheiten
    • Medienverträglichkeit
    • nur Wasserstoffgas
    • Signalaufbereitung
    • Nicht Verstärkt
    • Strömungsbereich
    • ± 25 sccm
    • Strömungsratenänderung
    • 5,0 SLPM/s
    • Schock
    • max. 100 g
    • Messtyp
    • Luftmassenmesser
    • Nullpunktverschiebung
    • ±1 mV DC %
  • Ausführung
    • Druck
    • 150 psi bar
    • Ansprechzeit
    • 1 ms
  • Anschlüsse / Schnittstellen
    • Anschluss
    • gerader Anschluss
  • Elektrische Werte
    • Leistungsaufnahme (Betrieb)
    • 60 m W
    • Spannung
    • 8 ... 15 V
Datenblatt/Bedienungsanleitung